株式会社昭和真空
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電子関連(スパッタリング&イオンプレート)

真空を利用した高度な成膜技術が、多くの分野で活躍

絶え間ざる技術革新の中、次代に連なる潮流は大きなうねりとなり、市場ニーズは刻々と変化し続けています。
エレクトロニクス技術においては、IC、LSI、MPU、メモリ…など、情報化社会のあらゆる分野に浸透しています。急速に進歩するエレクトロニクス分野では、真空を利用したより高度な成膜技術の果たす役割がますます大きくなっております。
昭和真空は、こうしたニーズの高まりに対応する為に真空蒸着装置をはじめ、各種スパッタリング装置を開発、高度化するお客様からのご要望にきめ細かくお応えしています。


カセットtoカセット型 ドライエッチング装置 SPEシリーズ
化合物半導体向け高性能スパッタリングシステム SPMシリーズ
イオンビームスパッタリング装置 SPIシリーズ
リフトオフ真空蒸着装置 SEC-16CM
リフトオフ真空蒸着装置 SEC-22C
イオンプレーティング装置 SIP-1600
小型真空蒸着装置 SEC-06D
有機素子作成用真空蒸着装置 Various
有機素子作成用真空蒸着装置 VariousU
ホロカソード方式イオンプレーティング装置 SIH-400T

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