真空蒸着装置　SEC-06D（真空装置）｜株式会社昭和真空｜

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小型真空蒸着装置　SEC-06D / SEC-08C

真空蒸着装置 SEC-06D

金属薄膜用蒸着装置のコンパクトモデル

研究開発用から少量生産に最適

概要

本装置は、抵抗加熱式蒸発源を使用して金属材料を蒸発させ、基板上に薄膜を形成するための真空蒸着装置です。
装置はバッチ式で、自転式治具を搭載し、付き回りの良い成膜を行います。
膜厚の制御は水晶発振式膜厚計により行います。
操作制御系は全自動式になっています。
用途に応じて、自転式以外にドーム式や自公転式への対応も可能です。
ローコストでリーズナブルに研究開発・小ロット生産をスタートさせることが可能です。
ロードロック式へのカスタマイズも可能

特長

全自動式による容易な操作性
研究開発用から少量生産に最適
真空槽はメンテナンス性が高いフロントドアータイプ
操作制御系一体型によるコンパクトなデザイン

オプション

公転ドーム式治具／自公転式治具／加熱機構／ロードロック対応

用途・応用例

金属装飾部品／アンダーコート・トップコートなどの塗料評価用

装置構成

真空槽	W500㎜×D500㎜×H600㎜
フットプリント	W1,240㎜×D1,300㎜×H2,000㎜
装置重量	500kg
電源容量	AC200V（3φ）　/　9.8kVA（28A）

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。