| 1. |
装置構成 |
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真空槽は搬送ロボットを搭載した搬送室を主体とし、エッチング室、カセット室の３室構成
真空槽材質は、搬送室、エッチング室、カセット室共に脱脂処理を施したA5052製を採用 |
| 2. |
排気系 |
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| ターボ分子ポンプ |
１式（エッチング室） |
| ロータリーポンプ |
２式（エッチング室・カセット室と搬送室は兼用） |
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| 3. |
性能 |
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| 到達圧力 |
2.7×10-3Ｐａ以下 （エッチング室） |
| 排気時間 |
3.0×10-2Ｐａまで2分以内 （エッチング室） |
| エッチング深さ |
65nm ※対BK７ガラス （φ3インチ or φ4インチ基板使用時） |
| エッチング分布 |
±5％以内 ※保証エリア 50×50mm以内 |
| サイクルタイム |
300ｓｅｃ （24枚／1カセット、φ3 or φ4インチ基板）※参考値 |
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| 4. |
電源系 |
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| RF電源 |
MAX ５００W （１３．５６MHｚ） |
| マッチングボックス |
フルオートマッチング仕様 |
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| 5. |
ガス導入系 |
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CF・SF系、He、O２ マスフローコントローラー ３式 |
| 6. |
制御系 |
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| シーケンサーの使用により、全自動操作が可能となっております。 |
| 基板処理枚数はタッチパネル上に常時表示し、エラー履歴は新しいものから確認できるようになっております。 |
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| 7. |
外形寸法 |
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装置本体 1000mmW×1100mmD×1600mmH
装置重量 1000Kg |
| 8. |
ユーティリティー |
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| 電力 |
200V 3φ 50/60Ｈｚ 12KVA |
| 冷却水 |
ー |
| 圧空 |
0.5MＰａ 20 l/min |
| N2ガス |
0.3MＰａ 60 l/min |
| アース |
Ａ種アース |
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■ カセットtoカセット型 ドライエッチング装置 SPE-Series
