トップ > 製品情報トップ > 電子関連装置 > R&D用有機EL有機EL素子蒸着装置 Various ■ R&D用有機EL素子蒸着装置 Various 次世代の表示デバイスとして注目されている有機ELが注目されております。 R&D用有機EL素子蒸着装置『Various』は、有機EL素子構造の最適化を、効率よく行える装置です。有機EL素子の開発をスピーディーに行えます。 有機EL素子の試作に最適です。 特徴 1. コンビナトリアルマスク機構を塔載 　 ・最大25種類の素子構成を1バッチにて試作可能 2. 基板搬送機構を塔載 　 ・有機-無機材料を、大気曝露せず連続蒸着可能 3. ターレット電極2式（ルツボ各4ヶ、合計8ヶ）を塔載 　 ・合計8種類の有機材料蒸着が同一位置から可能 仕様（Model:SEC-08C Various) 1. ロードロック方式 　 1-1 到達圧力　6.7×10-5 Pa以下 1-2 操作方式　真空排気系　自動式/リモート手動式 　 蒸着操作系　手動式 2. 機器明細 　 2-1 真空槽　所要寸法約1000W ×1350D ×2000H 2-2 内部治具系 　 (1)基板取付治具 有機、無機 旋回機構 　 (2)基板取付有効寸法　MAX60mm 　 (3)基板マスク機構　コンビナトリアルマス機構 2-3 蒸発源系 　 (1)抵抗加熱蒸発源系（無機用）　　 ３対 　 (2)ターレット電極２式系（有機用） ４ヶ×２式 2-4 排気系 　 (1)8インチクライオポンプ　 １式 2-5 ベーキングヒーター　 １式 2-6 膜厚測定系 　 (1)水晶発振式膜厚計(CRTM-9000 型) １式 　 (2)膜厚センサー　５式 ※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。 ※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。 | プライバシーポリシー| 情報セキュリティポリシー | サイトマップ |