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■ R&D用有機EL素子蒸着装置 Various
R&D用有機EL有機EL素子蒸着装置 Various
次世代の表示デバイスとして注目されている有機ELが注目されております。
R&D用有機EL素子蒸着装置『Various』は、有機EL素子構造の最適化を、効率よく行える装置です。有機EL素子の開発をスピーディーに行えます。
有機EL素子の試作に最適です。
特徴
1. コンビナトリアルマスク機構を塔載
　 ・最大25種類の素子構成を1バッチにて試作可能
2. 基板搬送機構を塔載
　 ・有機-無機材料を、大気曝露せず連続蒸着可能
3. ターレット電極2式（ルツボ各4ヶ、合計8ヶ）を塔載
　 ・合計8種類の有機材料蒸着が同一位置から可能
仕様（Model:SEC-08C Various)
1. ロードロック方式
　
1-1 到達圧力　6.7×10-5 Pa以下
1-2 操作方式　真空排気系　自動式/リモート手動式
　 蒸着操作系　手動式
2. 機器明細
　
2-1 真空槽　所要寸法約1000W ×1350D ×2000H
2-2 内部治具系
　 (1)基板取付治具 有機、無機 旋回機構
　 (2)基板取付有効寸法　MAX60mm
　 (3)基板マスク機構　コンビナトリアルマス機構
2-3 蒸発源系
　 (1)抵抗加熱蒸発源系（無機用）　　 ３対
　 (2)ターレット電極２式系（有機用） ４ヶ×２式
2-4 排気系
　 (1)8インチクライオポンプ　 １式
2-5 ベーキングヒーター　 １式
2-6 膜厚測定系
　 (1)水晶発振式膜厚計(CRTM-9000 型) １式
　 (2)膜厚センサー　５式

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。


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