株式会社昭和真空(真空装置)
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トップ > 製品情報トップ > コンポーネント 内熱式油拡散ポンプ 光学膜厚制御システム等

内熱式油拡散ポンプユニット SFD Series
光学膜厚制御システム ウェーブナビゲーター SOCS-1α
spectra-Ace 真空分光特性モニター
油拡散ポンプ用省電力ユニット ECO Series
低パーティクル仕様 (Sapioオプション)
高出力RFイオンソース ISG-180

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