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水晶デバイス装置

SAWフィルタ、水晶振動子、水晶発振子など移動体通信関連

水晶用関連真空装置は、昭和真空の主力製品の1つです。
ここでいう「水晶」とは、水晶振動子、水晶発振器、SAWフィルター等、単結晶圧電素子である水晶を基板とした、クォーツデバイスと呼ばれている電子部品を指します。
クォーツデバイスは、非常に安定した発振周波数を有し、私たちの生活に関わるあらゆる製品に不可欠なキーデバイスとなっています。その使用用途は多岐にわたり、コンピューター、時計、自動車、携帯電話、家庭用ゲーム機、コードレス電話、CD、デジタルカメラなど、身の回りの電気製品のほとんどに利用されています。
クォーツデバイスは、その特長から非常に高い精度が要求されます。昭和真空はクォーツデバイスの製造ラインの各工程向けに最適な真空装置を製造、販売しております。


ロードロック式スパッタリング装置 SPH-2500
ロードロック式周波数調整装置 SFE-B03
バッチ式イオンビーム周波数調整装置 SFE-6000 シリーズ
インライン式イオンビーム周波数調整装置 SFE-X04 シリーズ
インライン式真空アニール装置 SAF-12T
高真空アニール装置 SAF-52T-U
ロードロック式カルーセル型スパッタリング装置 SPC-1200W

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