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射出成形機連動型高速スパッタ・重合システム

■ SPP-SERIES
射出成形機連動型高速スパッタ・重合システム SPPシリーズ  
新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP−SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。

【特徴】
1. 全自動
射出成形された基板を全自動で真空成膜(スパッタリングおよび重合)することが可能です。
2. サイクルタイム: 80sec
(Al:100nm+SiOx:20nm)
3. 高い密着度
アンダーコート無しでも高密着力が得られます。
【対象製品】
自動車ヘッドランプリフレクター
ミラー
金属装飾膜
【主な仕様】  
最大基板寸法 W180×L340×D150o
基板材質 PC, PET, PP, PE 等
スパッタレート:10nm/sec
重合レート:1nm/sec
排気速度 0.1paまで30sec
排気系 RP+TMP
生産サイクルタイム:基板投入から成膜、重合、取り出しまで約80sec以下
反射率:85%以上、KOH 1% 10min
SP室+重合室 2室構成
スパッタ室:高使用効率型カソード(ターゲットサイズ440×240mm)、30kW DC電源
重合室:グロー放電式重合電極×1 750W RF電源
スパッタ材料:Al等
重合ガス:HMDSO(SiOx用)等

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。

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