射出成形機連動型高速スパッタ・重合システム ■ SPP-SERIES |
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新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。
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【特徴】
1. |
全自動 |
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射出成形された基板を全自動で真空成膜(スパッタリングおよび重合)することが可能です。 |
2. |
サイクルタイム: 80sec |
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(Al:100nm+SiOx:20nm) |
3. |
高い密着度 |
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アンダーコート無しでも高密着力が得られます。 |
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【対象製品】
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自動車ヘッドランプリフレクター |
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ミラー |
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金属装飾膜 |
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【主な仕様】
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最大基板寸法 W180×L340×D150㎜ |
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基板材質 PC, PET, PP, PE 等 |
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スパッタレート:10nm/sec |
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重合レート:1nm/sec |
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排気速度 0.1paまで30sec |
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排気系 RP+TMP |
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生産サイクルタイム:基板投入から成膜、重合、取り出しまで約80sec以下 |
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反射率:85%以上、KOH 1% 10min |
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SP室+重合室 2室構成 |
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スパッタ室:高使用効率型カソード(ターゲットサイズ440×240mm)、30kW DC電源 |
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重合室:グロー放電式重合電極×1 750W RF電源 |
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スパッタ材料:Al等 |
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重合ガス:HMDSO(SiOx用)等 |
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