株式会社昭和真空(真空装置)
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製品情報(真空装置)
トップ > 製品情報トップ > 光学装置 オプトエレクトロニクスの分野でも、真空技術は大きな役割をはたしております

カメラや眼鏡レンズのコーティング、液晶ディスプレイの多層膜フィルター、LD・CD・DVDなどの光ピックアップレンズ、光通信用の分波器など、光学やオプトエレクトロニクスの分野で真空技術は大きな役割を果たしています。
この分野において、昭和真空は豊富な実績を持ち、より高度なニーズにお答えする多層膜真空蒸着装置や波長シフトレス対応RFイオンソースを開発。お客様の生産の効率化・生産性向上に寄与させて頂いております。

超高性能光学薄膜用蒸着装置 Sapio 1300/1550

光学薄膜用蒸着装置 SGC-S1700シリーズ

インライン多層膜真空蒸着装置 SGS-3095

小型AR用スパッタリング装置 SPS-208CW

光学部品用多層メタライズ・スパッタリング装置 SPH-2025

光学膜厚制御システム ウェーブナビゲーター SOCS-1α

spectra-Ace 真空分光特性モニター

油拡散ポンプ用省電力ユニット ECO-22

低パーティクル仕様 (Sapioオプション)

高出力RFイオンソース ISG-180



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