ロードロック式カルーセル型スパッタ装置 SPC-2507（真空装置）｜株式会社昭和真空｜

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■ ロードロック式カルーセル型スパッタ装置 SPC-2507

ロードロック式カルーセル型スパッタ装置 SPC-2507

二種類の膜を片面ずつ成膜可能なスパッタ装置

特長

外形：W1,280㎜×D1,150㎜×H1,873㎜　
通過型SPH-2500T-Ⅱで解消できずにいた熱の問題について
スパッタ中での温度上昇を抑制することにより低温成膜が可能です。
基板回転・反転機構において、マグネットによる非接触動力伝達方式（マグトラン）を採用。
※マグトランは㈱FEC の登録商標です｡

オプション

パワー変調機能　
回転方向の膜厚分布調整用
カソード(3源目)

用途・応用例

各種電子部品への電極用金属膜の形成

カルーセル型スパッタによるメリット

低温成膜
130℃以下で低温成膜が可能になることによりCrの拡散防止対策などにも有効。 (プラズマに晒されている時間が短いため低温成膜が可能)

装置構成

排気ポンプ	油回転ポンプ＋クライオポンプ
設置寸法	W1,280㎜×D1,150㎜×H1,873㎜
装置重量	1,500kg
電源容量	AC200～220V　/　17kVA（50A）

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。

　

　