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■ インライン式 周波数調整装置 SFE-X2012

インライン式周波数調整装置 SFE-X2012 コンパクト設計
高精度
低価格
高安定性
高再現性
【特 徴】
3室インライン式の採用
処理室と取出室を別にし、イオンソースもH/Lを各々搭載したことで、アイドルタイムの少ない効率的な動作が可能となりました。
多源同時処理
SFE-B03に搭載したIGF-201型100mmビームのイオンソースを2基搭載しています。1台当たり最大24個、計48個の同時処理が可能です。
微小ワークに対応した高精度な機構
SFE-B03で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機構を本装置にも採用しております。 今までのインラインでは困難であった小型ワーク(2.0×1.6、1.6×1.2)の周波数調整も安定して量産できます。
メンテナンス性を考慮
ユニット毎に各機器の分解が可能で、メンテナンス性を考慮した設計となっています。
インライン式周波数調整装置 SFE-X2012      インライン式周波数調整装置 SFE-X2012
【性 能】
タクトタイム0.3sec/pc以下 ※18MHz以上のワーク、1列24個以上の場合
調整精度±1.5ppm以下
処理数最大24列 (p4.0) ×32列
生産量12000pcs/時間 以上
【仕 様】
ワークサイズSMD 2016 以下の小型サイズにも適応可能
装置構成3室(仕込室、処理室、取出室)インライン式
※オプションで LD(O.D付属)、ULDとドッキングが可能
搬送系SFE-B03型と同じくX軸搬送をH/Lに各々採用
排気系処理室 12インチCP
仕込室/取出室 RP+MBP
イオンソース100mmビーム矩形型×2式
最大48個同時処理
計測器ネットワークアナライザー 4台
PCWindows PC×2台、DOS PC×2台
周調工程2段階(H, LL)
インライン式周波数調整装置 SFE-X2012

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。


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