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水晶デバイス装置
■ インライン式 周波数調整装置 SFE-X2012
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世界最高レベルの
タクトタイムを実現
本装置は水晶デバイスの周波数調整を行う事を目的とした装置です。3室インライン式の採用により、世界最高レベルのタクトタイムを実現しております。
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【特 徴】
- 3室インライン式の採用
- 処理室と取出室を別にし、イオンソースもH／Lを各々搭載したことで、アイドルタイムの少ない効率的な動作が可能になりました。
- 多源同時処理
- SFE‐B03に搭載したIGF－201型 100mmビームのイオンソースを2基搭載しています。1台当たり最大24個、計48個同時処理が可能です。
- 微小ワークに対応した高精度な機構
- SFE－B03で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機構を本装置にも採用しております。今までインラインでは困難であった小型ワーク（1.2×1.0以下）の周波数調整も、安定して量産できます。
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【性 能】
| タクトタイム | 0.3sec/pc以下 ※18MHz以上のワーク、1列24個以上の場合 |
| 調整精度 | ±1.5ppm以下 |
| 処理数 | 最大24列 (p4.0) ×32列 |
| 生産量 | 12000pcs/時間 以上 |
【オプション】
- マガジン搬送・オーバードライブ機能付きLD/ULD（三生電子株式会社製）
- 三生電子株式会社のインラインシステムと連結可能
- 小型ワークコンタクト調整システム 「サーチロイド」
【用途・応用例】
対象製品：水晶振動子／水晶発振器（3225、2520、2016、1612、1210、1008）、
音叉振動子（3215、2012、1610、1210）
装置構成
| 排気ポンプ | RP＋MBP＋TMP |
| 設置寸法 | W3,000mm×D2,100mm×H2,000mm |
| 装置重量 | 2,150kg |
| 電源容量 | AC200V（3φ）/ 18kVA（54A） |
※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
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