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真空蒸镀设备 Mega-Sapio 1700（SGC-MS1700i）
真空蒸镀设备 Sapio系列（SGC-S900 / 1300/1550/1700）
真空蒸镀设备 SEC-22C
小型真空蒸镀设备 SEC-06D / SEC-08C
AuSn蒸镀设备 SEC-S900C
耐等离子膜蒸镀设备 SEC-S1300i
批次式蒸镀设备 SDC-1300F
电弧放电式离子镀设备 SIA-400T
连续溅射镀膜设备 SPH-2500T-Ⅱ
通过型连续溅射镀膜设备 SPH-2410-Ⅱ
轮盘式连续溅射镀膜设备 SPC-2507-Ⅱ
连续式溅射镀膜设备 SPH-5000系列
单晶片型溅射镀膜设备 SPM系列
小批量高循环溅射镀膜机设备 SPP-155TC
注塑机连动型高速溅射镀膜·聚合系统 SPP系列
单片型RIE设备 SPE-6000系列
批量型RIE设备 SPE-8000系列
等离子洗净设备 SPE-2136A
晶圆修整设备 SST-M01T
原子层沉积设备 ALD系列
连续式频率微调设备 SFE-B03-Ⅱ
连续式频率微设备 SFE-X2012
高真空退火炉设备 SAF-52T-Ⅱ
连续式高真空退火炉设备 SAF-X1201
光学膜厚控制系统 Lafio/APEX系列
无线温度监控器
水晶膜厚仪 COÅT LEADER®
航空宇宙産業用设备 SNC系列
图像识别系统
预兆保全用边缘计算系统 EPIoT®
霍尔加速型离子源/等离子体中和器 ISH-030/PBN-80
高功率RF离子源 ISG系列
用于蚀刻的离子源 IGF系列
高使用效率的阴极
油扩散泵节电设备 ECO-22/26
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