ロードロック式周波数調整装置
SFE-B03-Ⅱ
経 済 産 業 省
グローバルニッチトップ企業100選
選定対象装置
周波数調整装置のグローバルスタンダード
本装置は水晶デバイスの周波数調整を行う装置です。省スペース、高精度、高生産性を実現したスタンダードモデルです。
高精度・高安定・高再現性の搬送機構の採用により、1.2×1.0以下の微小ワークも安定して生産できます。2室ロードロック方式の為、処理室は常時真空に保持されており、イオンソースの安定稼働が図れます。
用途・応用例
対象製品｜水晶振動子／水晶発振器（3225、2520、2016、1612、1210、1008）、
音叉振動子（3215、2012、1610、1210）
特長
- 1. 省スペース・高精度・低価格・タクトタイム0.4s/pcs以下を実現
（※SMD3.2×2.5 24MHz H1,000ppm/s L50ppm/sの場合） - 2. リニアイオンソース（ビーム幅：100mm）搭載
24個～32個同時処理が可能 - 3. 高性能の搬送機構による微小ワーク（1.2×1.0以下）の安定生産
- 4. FLモード（負荷時共振周波数自動演算モード）搭載
- 5. イオンソース本体・コンタクト機構の優れたメンテナンス性
- 6. イオンソースの安定稼働
- 7. マガジン搬送・オーバードライブ機能付きLD/ULD（三生電子株式会社製）（オプション）
- 8. 小型ワークコンタクト調整システム「SEARCHROID®」（オプション）
※SEARCHROID®は㈱昭和真空の登録商標です｡
仕様
| 排気ポンプ | RP+TMP |
|---|---|
| 設置寸法 | W1,200mm×D1,300mm×H1,800mm |
| 重量 | 1,000kg |
| 電源容量 | AC200V(3φ)／10.3kVA(30A) |