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コンポーネント
■ spectra-Ace 真空分光特性モニター
システムの特徴
1.
真空中で測定波長領域を瞬時に測光できます。
2.
単層膜の分光特性を測定することにより、真空中における屈折率及び、消衰係数の波長分散データーを取得できます。(FILM☆STAR使用)
3.
多層膜成膜時の層間に測定した分光特性とシミュレーションの分光特性とを比較することで、次層以降での膜厚補正が可能となります。
仕 様
1.
測光波長範囲
400~1000nm
2.
測光方式
透過式/反射式
3.
分光方式
グレーティングによるツェルニターナ方式
4.
波長精度
±1nm
5.
露光時間
25msec ̄6sec
6.
消費電力
AC 100V 5VA
7.
大きさ
〔本体〕
W195×H230×D110
〔電源〕
W110×H65×D150
8.
重量
〔本体〕
5.1kg
〔電源〕
0.8kg
※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
IOJ00604-0211
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