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■ spectra-Ace 真空分光特性モニター

spectra-Ace 真空分光特性モニター

システムの特徴

1. 真空中で測定波長領域を瞬時に測光できます。
2. 単層膜の分光特性を測定することにより、真空中における屈折率及び、消衰係数の波長分散データーを取得できます。(FILM☆STAR使用)
3. 多層膜成膜時の層間に測定した分光特性とシミュレーションの分光特性とを比較することで、次層以降での膜厚補正が可能となります。
仕 様
1. 測光波長範囲
  400〜1000nm
2. 測光方式
  透過式/反射式
3. 分光方式
  グレーティングによるツェルニターナ方式
4. 波長精度
  ±1nm
5. 露光時間
  25msec ̄6sec
6. 消費電力
  AC 100V 5VA
7. 大きさ
 
〔本体〕 W195×H230×D110
〔電源〕 W110×H65×D150
8. 重量
 
〔本体〕 5.1kg
〔電源〕 0.8kg

波長分散データの比較

spectra-Aceによる膜圧補正
自動膜圧補正システム

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。

IOJ00604-0211


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