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■ 内熱式油拡散真空ポンプユニット SFD Series

省エネルギー・高効率化を実現

SFD Series


内熱式油拡散真空ポンプユニット SFD Series

概要

近年の地球環境問題に対応し、弊社では従来からご愛顧いただいております油拡散真空ポンプの改良を行い、省エネルギー・高効率化を実現いたしました。

特徴

1. オイル加熱ヒーターには内熱式シースヒーターを採用し、省電力化を実現しました。
2. ジェットの改良により、排気性能が大幅に向上しました。
3. ポンプの立ち上げ時間を短縮いたしました。
4. 直接水冷式コールドキャップをバッフルに内蔵したことにより水冷式でもオイルバックを抑制することが可能となりました。
5. オイルレベルゲージでは、オイル量、汚れを一目で確認できます。またメンテナンスについては早めのオイル交換を実施いただくだけで十分。作業効率もUPします。
仕 様
  SFD-22C SFD-26C
ヒーター電力 (KW) 7.8 10.8
ヒーター効率 (%) 93 93
排気速度(m³/sec) ※1 6.5 10
臨界背圧 (Pa) 27 31
到達圧力 (Pa) ※2 3×10-5 3×10-5
所要電力 φ3 200V (kW) 7.8 10.8
作動油 (L) 5 6
冷却水量 (L/min) 12 16
立ち上がり時間 (min) 35 15
冷却時間 (min) 20 60
本体+バッフル重量 (kg) ※3 260 386
※1 排気速度はバッフル直上の数値です。
※2 3×10-5 (Pa)≒0.027mmPa
※3 オイルなしでの重量です。
各部寸法
内熱式油拡散真空ポンプユニット SFD Series
単位 : mm
SFD-22C SFD-26C
A 948 1221
B 550VG 650VG
C 480 550
D 447 700
E 150VG 150VG
F
(吸気口内径)
550 650
VG = JIS規格のフランジ寸法
省電力ユニットのご案内 (SFD-22C用オプション) −環境対策・電気代削減−

昭和真空製内熱式油拡散ポンプ(SFD-22C)へ簡単に取り付け可能な省電力ユニットと断熱ジャケットのセットです。排気性能を実用上低下させずに、環境対策、電気代削減に貢献いたします。

省電力ユニットをMSとDPの間の配線に接続し、DP本体に断熱ジャケットを取り付けるだけなので、簡単に導入可能です。実際の省エネ効果については、ご使用の装置に応じて試算させていただきますので、お気軽にお問合せください。

詳細カタログはこちら

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。


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