高出力RFイオンソース ISGシリーズ（真空装置）｜株式会社昭和真空

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広範囲で安定したイオン照射を実現

　概　要

広範囲で安定した放電を可能にし、光学フィルターのノンシフト膜から樹脂基板への密着性改善まで様々な用途でご使用いただけます。

放電性能においては、独自のアプローチにより確実な着火と、安定した放電が可能です。

　特長・オプション等


1.	ビーム電流　1,700mA / ビーム電圧　1,500V　/　イオン電流密度　150μA/c㎡以上の高出力イオンソース
2.	イオン電流密度分布±5％以下の均一性をハイパワーで達成。 ※Sapio-1300での測定結果です。弊社指定条件に限ります。
3.	ニュートラライザーにもオートマッチャーを採用するなどの安定化を図り、新開発コレクター電極（特許出願中）の採用によりエミッション電流3,000mAの大出力化を達成。チャージアップによるパーティクル発生を予防します。
4.	チャンバーサイズ・ドーム曲率などに合わせたラインナップ

　用途・応用例

光学薄膜のイオンアシスト成膜

基板表面のエッチング処理

　ISGシリーズラインナップ

	項　目	ISG-130		ISG-180		ISG-230
出　力	BEAM電圧	100～1,500V
	BEAM電流	800mA		1,500mA		2,500mA
	ACC電圧	1,000V
	RF	1,000W				2,000W
	NEUT Emi	2,500mA				3,200mA
	NEUT RF	300W
対応装置		SEC-22Ci	SGC-S900i	Sapio1300~1700		Sapio1550~1700
ドーム径		φ625㎜	φ800㎜	φ1,150㎜～1,600㎜		φ1,400㎜～1,600㎜
用　途		金属膜前処理	誘電体膜	誘電体膜	誘電体膜複雑形状	誘電体膜高出力（大電流）

　イオン電流密度分布



	φ1,400㎜以上のドームにおいてもイオン分布の高い均一性を実現

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。