エッチング用イオンソース IGFシリーズ（真空装置）｜株式会社昭和真空

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ー　デバイス個片へのエッチングに最適　ー

　概　要

小型のイオンソースから各種イオンビームをデバイスに照射し、シャッターと組み合わせることで個別のエッチングが可能です。

　特長・オプション等

　用途・応用例

圧電デバイス（水晶振動子、SAWフィルター等）の個別エッチング、ウェハー平坦化等

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。