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■ インライン式イオンビーム周波数調整装置 SFE-X04シリーズ
インライン式イオンビーム周波数調整装置 SFE-X04シリーズ
 
【特徴】
1.
 
本装置は、水晶振動子などのSMDデバイスを周波数調整することを目的として開発されたインライン式周波数調整装置です。
2. ローダーとアンローダー(別売)を組み合わせる事により、効率的なライン構成が可能になります。
3. 3.2×2.5以下のSMD水晶デバイスを、小さい装置で簡易・確実に調整します。
4. イオンガンを使用したエッチングにより各素子1ヶ毎に周波数を調整出来ます。
5. 計測系はネットワークアナライザーとカウンターを搭載しております。
6. 2ビームイオンガンを4台搭載し、H→M→L→LLの4段階調整を2つ同時に行います。これにより、1.5sec/pcで±2ppm以内の精度を実現しました。
【性能・仕様・主要諸元】
●型式 SFE-X04CM SFE-X04TM
C(クライオポンプ仕様) T(ターボポンプ仕様)
●寸法・重量
外形寸法 W1250×D1500×H1650
装置重量 2000kg
●性能
到達圧力(処理室) 7.5×10-4Pa以下 7.5×10-4Pa以下
排気時間
  仕込・取出室: 5.0Pa迄 40秒
  全室: 1.2×10-2Pa迄 2分
適用素子 SMD型 振動子 / OSC
測定系
  振動子仕様 ボード型ネットワークアナライザー及びカウンター 各4台
  OSC仕様 カウンター×8台
  振動子・OSC兼用仕様 ボード型ネットワークアナライザー4台
 + カウンター 8台
処理数 キャリア:20個×2列=40個 (5mmピッチ)
計測可能範囲                
  振動子仕様 10〜60MHz (fr共振点が測定可能な素子)
  OSC仕様 1〜225MHz (発振可能な素子)
調整精度  
  振動子仕様
±2ppm (10〜40MHz基準) シャッター閉直後の値
  OSC仕様 ±3ppm (10〜40MHz基準) シャッター閉直後の値
タクト
  振動子仕様 1.5秒/1ヶ (調整量 1000ppm以内)
  OSC仕様 1.5秒/1ヶ (調整量 1000ppm以内)
※20MHz基準。ビーム照射時間、1秒以下とします。
   時間制御モードの場合は、保証外となります。
排気系 クライオポンプ
ロータリーポンプ
ターボポンプ
ロータリーポンプ
イオンガン
IGF−001 熱陰極タイプ 水冷式
真空制御系 ペニング真空計×1 ペニング真空計×1
ピラニー真空計×3 ピラニー真空計×2
●所要諸元
所要電力量 3相,200V,14kVA (40A)
所要水量 約0.57m3/h差圧にて
0.2MP以上
約0.45m3/h差圧にて
0.2MP以上
圧縮空気 0.5 〜 0.7Mpa
ガス N2ガス: 0.2MPa 〜 0.3MPa(リーク用)
Arガス: 0.2MPa 〜 0.3MPa

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。


IQJ08001-0903


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