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■ バッチ式イオンビーム周波数調整装置 SFE-6000シリーズ
バッチ式イオンビーム周波数調整装置 SFE-6000シリーズ  
【特徴】
1. 本装置は、水晶振動子などのSMDデバイスの周波数調整を行う事を目的として開発されたものです。
2. 水晶振動子などの電極膜をイオンガンにて発生させたArイオンでエッチングし、それに伴う周波数の変化を計測する事により、所定の周波数帯まで調整を行います。
3.

SMD水晶振動子の各種のサイズ(7.0×5.0mm〜1.6×1.2mm)に対応可能です。

4. 昭和真空が長年培ってきた水晶振動子の周波数調整技術により、個別周波数調整が可能です。(各素子1ヶ毎に周波数を調整出来ます)
5. 省スペースを維持しながら、生産量に応じて各種バリエーションを用意しております。
6. 計測系はネットワークアナライザーとカウンターを搭載しています。
7. 処理室を大気開放せずに、ワーク、トレーの交換が出来るので、真空中で効率的な連続運転が可能となり、メンテナンスサイクルの向上を図っております。
【性能・仕様・主要諸元】
●型式 SFE-6230C(T) SFE-6430C(T) SFE-6830C(T)
C (クライオポンプ仕様) T (ターボポンプ仕様) C (クライオポンプ仕様) T (ターボポンプ仕様) C (クライオポンプ仕様) T (ターボポンプ仕様)
●寸法・重量
巾×奥行×高さ 1208×964×1097mm 1208×964×1097mm 1778×964×1097mm
装置重量 1000Kg 1000Kg 1100Kg
●性能
到達圧力(処理室) 10-4Pa台
排気時間
仕込室:
大気圧より40Pa迄
1分 1分 1分30秒
処理室:
6.7×10-3Pa迄
5分 10分 5分 10分 5分 10分
適用素子 SMD型 振動子/OSC
測定系
振動子仕様 ボード型ネットワークアナライザー 又は カウンター×2台 ボード型ネットワークアナライザー 又は カウンター×4台 ボード型ネットワークアナライザー 又は カウンター×8台
OSC仕様 カウンター×2台 カウンター×4台 カウンター×8台
振動子・OSC兼用仕様 ボード型ネットワークアナライザー + カウンター 2台 ボード型ネットワークアナライザー + カウンター 4台 ボード型ネットワークアナライザー + カウンター 8台
処理数 トレー寸法(134×170):360個×2
素子サイズ:5.0×3.2(240ヶ)、3.2×2.5(320ヶ)、2.5×2.0(384ヶ)※1
計測可能範囲
振動子仕様 2〜300MHz (fr共振点が測定可能な素子)
OSC仕様 1〜225MHz (発振可能な素子)
調整範囲 2〜200MHz (但し300MHzでも対応可能)
調整精度
[H,M,L
3ステップ]
±2ppm (10〜40MHz基準) シャッター閉直後の値
[H,L
2ステップ]
±5ppm (10〜40MHz基準) シャッター閉直後の値
タクト
[H,M,L
3ステップ]
5.5秒/1ヶ
(調整量1000ppm以内)
3.0秒/1ヶ
(調整量1000ppm以内)
2.0秒/1ヶ
(調整量1000ppm以内)
[H,L
2ステップ]
3.5秒/1ヶ
(調整量1000ppm以内)
2.0秒/1ヶ
(調整量1000ppm以内)
1.5秒/1ヶ
(調整量1000ppm以内)
※20MHz基準。ビーム照射時間、1秒以下とします。時間制御モードの場合は、保証外となります。
イオンガン IGF-001 熱陰極タイプ 水冷式
●所要諸元
所要電力量 3相,200V,
7.8KVA(22.5A)
3相,200V,
5KVA(14A)
3相,200V,
7.8KVA(22.5A)
3相,200V,
5KVA(14A)
3相,200V,
7.8KVA(22.5A)
3相,200V,
5KVA(14A)
所要水量 約0.36m3/h
差圧にて
0.2MPa以上
約0.24m3/h
差圧にて
0.2MPa以上
約0.36m3/h
差圧にて
0.2MPa以上
約0.24m3/h
差圧にて
0.2MPa以上
約0.48m3/h
差圧にて
0.2MPa以上
約0.24m3/h
差圧にて
0.2MPa以上
圧縮空気 0.5〜0.7MPa
ガス N2ガス:圧力0.15MPa リーク用 Arガス:圧力0.2MPa以上

※1 他の取数についても対応可能ですのでご相談下さい。

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。


IQJ08101-0903


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