画像認識システムサーチロイド（真空装置）｜株式会社昭和真空

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－　微小製品の自動認識が可能　－

　概　要

画像認識により、微小製品の位置検出、基板上の微細異物、ウェハー、オリフラ及びノッチ検出が可能

　特長・オプション等


1.	撮像対象と基準点とのズレ量を検出し、Ｘ、Ｙステージを制御してズレ量を補正する。
2.	撮像対象と標本画像を比較して異常を検知する。

　用途・応用例

微小製品のコンタクト位置あわせ

トレー内の製品位置ずれ検出

ウェハー内の異物検出、オリフラ／ノッチ検出

サーチロイドのロゴ

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。