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絶え間ない技術革新の中、次代に連なる潮流は大きなうねりとなり、市場ニーズは刻々と変化し続けています。 エレクトロニクス技術においては、IC、LSI、MPU、メモリ…など、情報化社会のあらゆる分野に浸透しています。急速に進歩するエレクトロニクス分野では、真空を利用したより高度な成膜技術の果たす役割がますます大きくなっております。 昭和真空は、こうしたニーズの高まりに対応する為に真空蒸着装置をはじめ、各種スパッタリング装置を開発、高度化するお客様からのご要望にきめ細かくお応えしています。
ロードロック式 通過型スパッタ装置 SPH-2410-Ⅱ
ウエハトリミング装置 SST-M01T
R&D用スパッタ装置
バッチ式真空蒸着装置 SDC-1300F
プラズマクリーナー SPE-2136A
LEDデバイス向け電極形成用スパッタリング装置 SPC-4515LD
カセットtoカセット型 ドライエッチング装置 SPEシリーズ
枚葉式スパッタリング装置 SPMシリーズ
イオンビームスパッタリング装置 SPIシリーズ
リフトオフ真空蒸着装置 SEC-22C
イオンプレーティング装置 SIP-1600F
小型真空蒸着装置 SEC-06D
有機素子作成用真空蒸着装置 Various
ホロカソード式イオンプレーティング装置 SIH-400T