株式会社昭和真空(真空装置)
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トップ > 製品情報トップ > 電子関連装置 真空を利用した高度な成膜技術が、多くの分野で活躍

絶え間ない技術革新の中、次代に連なる潮流は大きなうねりとなり、市場ニーズは刻々と変化し続けています。
エレクトロニクス技術においては、IC、LSI、MPU、メモリ…など、情報化社会のあらゆる分野に浸透しています。急速に進歩するエレクトロニクス分野では、真空を利用したより高度な成膜技術の果たす役割がますます大きくなっております。
昭和真空は、こうしたニーズの高まりに対応する為に真空蒸着装置をはじめ、各種スパッタリング装置を開発、高度化するお客様からのご要望にきめ細かくお応えしています。

ロードロック式 通過型スパッタ装置 SPH-2410-Ⅱ

ウエハトリミング装置 SST-M01T

R&D用スパッタ装置

バッチ式真空蒸着装置 SDC-1300F

プラズマクリーナー SPE-2136A

LEDデバイス向け電極形成用スパッタリング装置 SPC-4515LD

カセットtoカセット型 ドライエッチング装置 SPEシリーズ

枚葉式スパッタリング装置 SPMシリーズ

イオンビームスパッタリング装置 SPIシリーズ

リフトオフ真空蒸着装置 SEC-22C

イオンプレーティング装置 SIP-1600F

小型真空蒸着装置 SEC-06D

有機素子作成用真空蒸着装置 Various

ホロカソード式イオンプレーティング装置 SIH-400T


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