株式会社昭和真空(真空装置)
会社情報株主・投資家の皆様へ製品情報(真空装置)保守サービス採用情報ニュースリリースお問い合わせENGLISHCHINESE
製品情報(真空装置)
トップ > 製品情報トップ > 電子関連装置 真空を利用した高度な成膜技術が、多くの分野で活躍

絶え間ない技術革新の中、次代に連なる潮流は大きなうねりとなり、市場ニーズは刻々と変化し続けています。
エレクトロニクス技術においては、IC、LSI、MPU、メモリ…など、情報化社会のあらゆる分野に浸透しています。急速に進歩するエレクトロニクス分野では、真空を利用したより高度な成膜技術の果たす役割がますます大きくなっております。
昭和真空は、こうしたニーズの高まりに対応する為に真空蒸着装置をはじめ、各種スパッタリング装置を開発、高度化するお客様からのご要望にきめ細かくお応えしています。

ウエハトリミング装置 SST-M01T

ロードロック式カルーセル型スパッタ装置  SPC-2507

カルーセル型高速スパッタ重合装置 SPP-155TC

射出成型機連動型高速スパッタ・重合システム SPP Series

プラズマクリーナー SPE-2136A

真空蒸着装置 SEC-22C

小型真空蒸着装置 SEC-06D / SEC-08C

ロードロック方式スパッタリング装置  SPH-2500T-Ⅱ

ロードロック式通過型スパッタ装置 SPH-2410-Ⅱ

バッチ式真空蒸着装置 SDC-1300F

イオンプレーティング装置 SIP-1600F

ホロカソード式イオンプレーティング装置 SIH-400T

アーク放電型 イオンプレーティング装置 SIA-400T

枚葉式スパッタリング装置 SPMシリーズ

R&D用スパッタ装置

有機素子作成用真空蒸着装置 Various

カセットtoカセット型 ドライエッチング装置 SPEシリーズ

イオンビームスパッタリング装置 SPIシリーズ


ページトップへ


Copyright(c) SHOWA SHINKU CO.,LTD.All rights reserved.プライバシーポリシー情報セキュリティポリシー | サイトマップ |