株式会社昭和真空(真空装置)
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製品情報(真空装置)
トップ > 製品情報トップ > 水晶デバイス装置 SAWフィルタ、水晶振動子、水晶発振子など移動体通信関連

水晶用関連真空装置は、昭和真空の主力製品の1つです。
ここでいう「水晶」とは、水晶振動子、水晶発振器、SAWフィルター等、単結晶圧電素子である水晶を基板とした、クォーツデバイスと呼ばれている電子部品を指します。
クォーツデバイスは、非常に安定した発振周波数を有し、私たちの生活に関わるあらゆる製品に不可欠なキーデバイスとなっています。その使用用途は多岐にわたり、スマートフォン、パソコン、時計、自動車、家庭用ゲーム機など、身の回りの電気製品のほとんどに利用されています。
クォーツデバイスは、その特長から非常に高い精度が要求されます。昭和真空はクォーツデバイスの製造ラインの各工程向けに最適な真空装置を製造、販売しております。

ロードロック式周波数調整装置  SFE-B03-Ⅱ

インライン式周波数調整装置  SFE-X2012

ロードロック式カルーセル型スパッタ装置  SPC-2507

ロードロック方式スパッタリング装置  SPH-2500T-Ⅱ

ロードロック式通過型スパッタ装置 SPH-2410-Ⅱ

ウエハトリミング装置 SST-M01T

高真空アニール装置  SAF-52T-Ⅱ

真空加熱封止装置  SLS-401T

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