ロータリーカソード（真空装置）｜株式会社昭和真空

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80％以上の使用効率を実現！

　概　要

円筒状のターゲットを回転させながらスパッタリングすることで、80％以上の使用効率を誇るカソードです。

　特長・オプション等


1.	最大約90％の使用効率
2.	ターゲット内径φ162㎜、長手方向は2m程度まで対応可能
3.	低ノジュール、大パワーに対応 ※使用効率については保証外になります。

　用途・応用例

大面積への厚膜成膜に最適（太陽光パネル、タッチパネル等）

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。