水晶モニター COÅT LEADER（真空装置）｜株式会社昭和真空

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高精度な膜厚監視、レート制御が可能

　概　要

本システムは、当社が長年培ってきた水晶デバイス製造装置の技術を生かし、ネットワークアナライザによる周波数測定方式を採用することで、従来の測定方式と比べ、大幅に精度が向上しております。

　特長・オプション等

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。