株式会社昭和真空(真空装置)
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■ カルーセル型高速スパッタ重合装置 SPP-155TC
ロードロック方式スパッタリング装置 SPP-155T
小ロット・ハイサイクルで回せるスパッタリング装置
概 要
製品の品質や歩留まりを上げたい生産現場に適しているのは、小ロット・ハイサイクルで稼働できる装置ではないか。そう考えて開発したのがSPP-155TCです。 小ロットで動かせることで、ロット不良発時の損失を最小限にできます。ハイサイクルで回せることで、成型したてのワークをすぐに処理できるため、水分が吸着する時間を短縮することが可能です。そして、スパッタリング装置は、蒸着とは違いバッチ毎に材料補給の手間がかかりません。生産数も品質も妥協したくない。そんな現場で使う装置の正解を目指しました。
主な用途

装飾膜のコーティング

製品例

自動車内装部品・自動車ヘッドランプリフレクター

製品仕様
真空槽サイズ□850×H1800mm据付寸法W4000×D4000×H2700mm
対応ワークサイズΦ600mm×H1200mm主排気TMP×2+CP×1
サイクルタイム4分/1サイクル(参考値)カソード6×55インチマグネトロンカソード
真空槽内部
  • ターゲット(6×55インチ)
  • 治具ポール
  • 重合電極

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。



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