캐러셀형 고속 스퍼터링 중합 장치
SPP-155TC
소량 생산・짧은 사이클타임으로 운용 가능한
스퍼터링 장치
이 장치는 대형 제품에 스퍼터 및 중합 박막 형성이 가능하면서, 고사이클 운전을 실현한 배치식 장치입니다. 제품의 품질과 수율 향상을 원하는 생산 현장에 기여합니다.
용도・응용 예시
장식막 코팅
제품 예
자동차 내장 부품, 자동차 헤드램프 리플렉터
특징
- 1. 짧은 사이클타임(1사이클/약 4분)
120kW 전원 탑재에 의한 고속 성막과 3 Set 펌프를 통한 고속 배기로 실현 - 2. 대형 기판 대응
기판 설치 영역이 Φ500mm×H1,200mm로 넓어 대형 기판에 증착 가능 - 3. 자동화로 작업 효율 향상
진공 챔버 도어 및 스퍼터 캐소드의 개폐를 자동화로 대응 가능
사양
| 배기 펌프 | Maim Pump：TMP×2+CRYO×1 저진공 배기：RP×1+MBP×1 |
|---|---|
| 설치 면적 | W4,000mm×D4,000mm×H2,700mm |
| 중 량 | 6,200kg |
| 전원 용량 | AC200～220V／약 160kVA |
