追求锅间镀膜再现性的高性能型号

概要

• 镀膜的再现性…采用新开发研制的光纤式光学监控，配备80点监控玻璃的稳定温度设计，实现了符合设计的特性的高精度。
• 膜质稳定性......排气对策彻底、即便真空槽内部有污染也不影响特性、膜质稳定。
• 低颗粒......通过抗湍流排气系统措施・离子源周围防污措施 ・电子枪微调可降低颗粒及微尘污染。
• 高功率离子源......配备专为Sapio设计的高功率离子源，支持从多层光学滤波器到树脂基板的各种成膜。

特长/选项等

1. 高效排气系统
2. 高精度薄膜厚度控制系统Wavenavigator，Lafio
3. 高功率，大面积射频离子源ISG系列
4. 低颗粒规格（选购项）

用途/应用例

• 光学多层滤波器（红外截止滤波器，带通滤波器等）
• 各种抗反射膜
• 增加反射镜等

规格