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昭和真空公司对顾客销售用的装置使用的机器。

光学膜厚控制系统
Lafio/APEX系列>>>

水晶膜厚仪
COÅT LEADER>>>

无线温度监控器
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图像识别系统
搜索机器人>>>

油扩散泵节电装置
ECO-22/26>>>

用于蚀刻的离子源
IGF系列>>>

高功率RF离子源
ISG系列>>>

高使用效率的阴极
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旋转阴极
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内热式油扩散真空泵组件
SFD 系列>>>