光学设备
真空蒸镀设备 Sapio-DBR （SGC-S1300i/1550i/1700i）
概要（SGC-S1700i）
- 优异的量产性能
- 基板搭载数
- φ6英寸晶圆 约70枚/批
φ4英寸晶圆 约170枚/批
- 工作节拍时间
- 3小时以内/批（31层构成）
- 所需安装面积
- W 5,000 mm x D 7,000 mm x H3,100 mm
- 出色的批次间重复性 也提供连续批次的保证
- 可调整膜质 可提供条件校正的技术协力，以抑制由于Chipping造成的薄膜损坏。
特长/选项等
- 高效排气系统
- 高精度膜厚控制系统:Wavenavigator，Lafio
- 大功率大面积辐照射频离子源ISG系列
- 基板加热加热器 卤素灯 120°C±5°C以内
- 低颗粒规格（可选）
规格（参考：SGC-S1700i）
| 处理方法 |
批次类型 |
| 排气泵 |
26英寸DP x 2 + RP + MBP +迈斯纳陷阱 |
| 安装尺寸 |
W5,000㎜×D7,000㎜×H3,100㎜ |
| 设备重量 |
9,300kg |
| 供电能力 |
AC200V（3φ） / 约130kVA |
| 真空槽尺寸 |
φ1,700㎜ |
LED器件配置
用作 LED的反光膜
选择DBR的原因
铝膜，铝+反光膜
- 热变形引起的应力导致晶体缺陷的发生，会导致产品变质。
- Al反射膜的反射率增加是有限度的。
DBR（电介质多层膜镜）
- 很少产生热变形导致的劣化
- 实现铝反射膜无法获得的高反射率
DBR光谱特性示例
※设备规格/外观可改良或变更。
※本产品有外汇以及战略物资根据国际贸易管理方法的规定相当出口限制物品的情况。
因而在把相符合品拿到日本国外的时候拿到日本国政府的出口许可申请需要的手续。
