该设备可对基板两面分别镀两种不同种类的膜
可在各种电子元件上
低温镀膜
通过在130度或者低温度下进行低温度
末，可以有效防止Cr的扩散。
（因为暴露于等离子体的时间短，所以可以低温镀膜）
| 排气泵 | 油旋转＋低温泵 |
| 安装尺寸 | W1,280㎜×D1,150㎜×H1,873㎜ |
| 设备重量 | 1,500kg |
| 电源容量 | AC200～220V / 17kVA（50A） |
※设备规格/外观可改良或变更。
※本产品有外汇以及战略物资根据国际贸易管理方法的规定相当出口限制物品的情况。
因而在把相符合品拿到日本国外的时候拿到日本国政府的出口许可申请需要的手续。
