内热式油扩散真空泵组件 SFD系列（真空设备）｜株式会社昭和真空｜

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组件

内热式油扩散真空泵组件 SFD系列

节能 / 高效

内热式油扩散真空泵组件 SFD系列

概要

近年来，全球性环境问题备受关注，在此背景下，敝司对一直以来备受青睐的油扩散真空泵进行了改良，新一代产品更加节能且高效。

特长

油式加热器采用了内热式铠装加热器，实现了节电化。
改良了喷气部，使得排气性能大幅度提高。
缩短了泵启动所需时间。
在挡板里直接内置水冷式冷帽，这样即使是水冷式也可以抑制回油。
油位计处可对油量，脏污进行观察，一目了然。维修方面只需尽早换油就可以了。提高了作业效率。

規格
	SFD-22C	SFD-26C
加热器电力 (kW)	7.8	10.8
加热器效率 (%)	93	93
排气速度 (m³/sec) *1	6.5	10
临界背压 (Pa)	27	31
可大压力 (Pa) *2	3 × 10^-5	3 × 10^-5
所需电力 Φ3 200W (kW)	7.8	10.8
液压油 (L)	5	6
冷却水量 (L/min)	12	16
后运时间 (min)	35	15
冷却时间 (min)	20	60
(主体 + 挡板) 重量 (kg) *3	260	386
	1: 排气速度为挡板正上方的数值。 2: 3 × 10^-5 (Pa) ≈ 0.027 mmPa *3: 无油时的重量

尺寸

	SFD-22C	SFD-26C
A	948	1221
B	550 VG	650 VG
C	480	550
D	447	700
E	150 VG	150 VG
F (吸气口内径)	550	650

节电组件介绍 (SFD-22C用选购项目) - 环境问题对策 / 节约电费 -

可以简单的安装在昭和真空制内热式油扩散泵（SFD-22C)上的节电组件及隔热护套组合。既可以维持实用排气性能，又可对环境保护，节约电力做出贡献。

将节电组件连接在MS和DP之间，只要在DP主体下部安装隔热护套，就可以简单的导入此系统。如需了解实际节能效果，敝司可以根据实际设备进行估算，请按照以下联系方式进行联系。

※设备规格/外观可改良或变更。
※本产品有外汇以及战略物资根据国际贸易管理方法的规定相当出口限制物品的情况。因而在把相符合品拿到日本国外的时候拿到日本国政府的出口许可申请需要的手续。