概 要

高效生产周期

节约摆放空间

特 长

1. 本设备的主要作用是去除晶体振荡器在加工过程中产生的内部应力偏差，使其电极膜更加稳定化。
2. 本设备配有W460 × D350 × H35mm的加热架左右各10层，最多可以摆放 170 × 134mm 尺寸的标准托盘60片。
3. 本设备设计有2个可以独立工作的退火室，提高了生产效率，缩短了生产周期。

尺寸 / 重量

外形尺寸

W1700 × D900 × H1700 mm

设置重量

約 2500 kg

性 能

到达压力

低于 6.7 × 10^-4 Pa （双槽排气）

排气时间

20分钟到达 6.7 × 10^-3Pa (双槽排气)

最高温度

300°C (试料用托盘中央部的表面温度)

常用温度

250°C (试料用托盘中央部的表面温度)

温度调整精度

±15°C (250°C，试料用托盘中央部的表面温度)

升温时间

约60分钟从常温到达 250°C

处理数

60片（使用170mm × 134mm 托盘时)

排气系統

涡轮分子泵、旋转机械泵

真空计

彭宁真空计 × 2
皮拉尼真空计 × 2

所需外部条件

所需电量

三相, 200V, 22.4 kVA (64.7 A)

所需水量

输入压力: 0.3 ～ 0.4 MPa
压力差: 0.2 MPa 以上
水温: 20 ～ 25°C (以运行中无結露为条件)
流量: 約 0.66 m³/hr (11 L/min)

所需空压

供給压力: 0.5 ～ 0.7 MPa
设定压力: 0.5 MPa

所需气体
(N₂气体泄气用)

供給压力: 0.2 MPa 以上
设定压力: 0.05 ～ 0.1 MPa