组 件
旋转阴极
实现超过80％的使用效率！
概要
通过一边旋转圆柱形靶材一边溅射镀膜，该阴极可使靶材使用效率高达80％以上。
特长 / 选项
- 最大使用效率约90％
- 圆柱形靶材内径φ162mm。纵向可达约2米。
- 支持低结节和高功率
※使用效率不在保证范围内。
用途/应用例
最适用于大面积厚膜镀膜（太阳能电池板，触摸屏等）
※设备规格/外观可改良或变更。
※本产品有外汇以及战略物资根据国际贸易管理方法的规定相当出口限制物品的情况。
因而在把相符合品拿到日本国外的时候拿到日本国政府的出口许可申请需要的手续。
