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光学膜厚控制系统 Lafio/APEX系列

光学膜厚控制系统 Lafio/APEX系列 光学膜厚控制系统 Lafio/APEX系列

最适于稳定的光学膜厚控制的镀膜

光学膜厚控制系统 Lafio/APEX系列

概要

该系统通过与真空蒸镀设备相结合，以高精度控制光学膜厚度。
此外，通过与条件设定计算机以及序列控制系统的组合运用，可以实现完全自动化。

特长 / 选项

  1. 最大99层，通过计算机高速计算，以0.1％以下的精度检测光反射（透射）率的极值（峰值）。
  2. 采用衍射光栅（光栅）。可以在380〜2,000nm之间以1nm为间距地设置波长。※为APEX时
  3. 自动切换可见区域和近红外区域。无需像以往一样更换光接收器。
  4. 在光接收器一侧安装衍射光栅的设计,使其结构变得不易受外来光的影响。
  5. 即使光强度变化只有1％左右，也可以精确地检测出峰值。
  6. 通过采用预测计算方法,可以在S / N比较差的情况下稳定运行。

用途 / 应用例

真空蒸镀设备的光学膜厚度控制
光学监控一览
型号可测波长[nm]光源光接收元件光学系统光度法
APEX380～2,000卤素灯Si-PD, PbS镜盒式反射/透过
APEX-UV200～1,000氙灯PMT, Si-PD镜盒式反射/透过
APEX-IR2,000～4,200硅碳棒PbSe镜盒式反射/透过
Lambda380～1,000卤素灯Si-PD镜盒式反射/透过
Lafio Plus350～1,100卤素灯Si-PD光纤式反射
直接监控400～900卤素灯CCD(Si)光纤式透过

※设备规格/外观可改良或变更。
※本产品有外汇以及战略物资根据国际贸易管理方法的规定相当出口限制物品的情况。 因而在把相符合品拿到日本国外的时候拿到日本国政府的出口许可申请需要的手续。

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