组 件
用于蚀刻的离子源 IGF系列 - 最适用于蚀刻各个器件 -
概要
通过小型离子源向元器件发射各种离子束，与挡板组合使用，可以进行单独的蚀刻。
特长 / 选项
- IGF-001 : 光束直径：约φ5㎜
- IGF-201：光束直径：约5㎜×L100㎜
用途/应用例
压电元器件（晶体振荡器，SAW滤波器等）的单独蚀刻、晶圆平面化等。
※设备规格/外观可改良或变更。
※本产品有外汇以及战略物资根据国际贸易管理方法的规定相当出口限制物品的情况。
因而在把相符合品拿到日本国外的时候拿到日本国政府的出口许可申请需要的手续。
