组 件
水晶膜厚仪 COÅT LEADER
使高精度的膜厚监视
速率控制成为可能
概要
该系统采用了本公司多年研究开发的石英器件制造设备技术，利用网络分析仪来测量频率的方法，与传统测量方法相比，大幅度提高了精确度。
特长 / 选项
- 采用网络分析仪进行反射测量
- 提高了膜厚控制精度
- 提高沉积速率稳定性
- 延长了石英振荡器的使用寿命
※设备规格/外观可改良或变更。
※本产品有外汇以及战略物资根据国际贸易管理方法的规定相当出口限制物品的情况。
因而在把相符合品拿到日本国外的时候拿到日本国政府的出口许可申请需要的手续。
