イオンソース用DC電源(オリジン製) の販売･保守終了のご案内
- ・対象機種：ISG-130,180 ビーム用DC電源（IG-P0302S）
ISG-230 ビーム用DC電源（IG-P0303S）
ISG-130,180,230 加速用DC電源（IG-N01R5S） - ・終了時期：2022/1/31
- ・後継品：京都電機器株式会社製DC電源 (PIAD-3896)
- ・備考：交換の際は現地交換工事が必要
ワイドレンジ電離真空計 更新のご案内
M-430HGをお使いの方
- ・対象機種：キヤノンアネルバ製 M-430HG
- ・終了時期：-
- ・後継品：キヤノンアネルバ製 M-431HG
コンビバック真空計 サポート終了のお知らせ
VGC023･CM31をお使いの方
- ・対象機種：インフィコン製 VGC023
ライボルト製 CM31 - ・終了時期：2009年（インフィコン製 VGC023）
-（ライボルト製 CM31） - ・後継品：インフィコン製 VGC50X
- ・備考：配線変更・ソフト変更が必要
水晶発振式成膜コントローラ サポート終了
CRTM-5000をお使いの方
- ・対象機種：CRTM-5000
- ・終了時期：2000/10/1
- ・後継品：CRTM-6000G
- ・備考：配線変更・ソフト変更が必要
水晶発振式成膜コントローラ サポート終了
CRTM-9200をお使いの方
- ・対象機種：CRTM-9200
- ・終了時期：2023/3/31
- ・後継品：ご使用条件により、ご相談になります
タッチパネル代替機のご案内
GP-477REをお使いの方
- ・対象機種：GP-477RE
- ・終了時期：2009/6/30
- ・後継品：GP-4501T
条件設定パソコン更新のご案内
ウエーブナビゲーターをお使いの方
- ・対象機種：NEC FC-20C（条件設定用）
NEC ボードPC98（SOCS用）
NEC FC-56H（条件設定用）
CONTEC BOX-PC （SOCS用） - ・終了時期：2001/11/31（NEC FC-20C（条件設定用））
2003/8/1（NEC ボードPC98（SOCS用））
2006/3/31（NEC FC-56H（条件設定用））
-（CONTEC BOX-PC （SOCS用）） - ・後継品：最新型（お問い合わせください）
ストッカー室用 スライダー更新のご案内
- ・対象機種：EZS4-30M
- ・終了時期：2014年
- ・後継品：お問い合わせください
オムロン製シーケンサ更新のご案内
- ・対象機種：C200H/C1000H
G72C-VID16・VOD16
C200HX/HG/HE - ・終了時期：2000/9/1（C200H/C1000H）
2012/3/1（G72C-VID16・VOD16）
2017/3/1（C200HX/HG/HE） - ・後継品：CJ2
ヒーター更新のご案内
- ・対象機種：外熱式タイプ（SFD-22B・SFD-22C・SFD-26C除く）
- ・終了時期：-
- ・後継品：お問い合わせください