SPE-6000系列
单片型RIE设备标准型号
SPE-8000系列
批量型RIE设备标准型号
SPE-2136A
具备同时处理2片φ6英寸晶圆的高效率
SST-M01T
采用离子束对基材进行平坦化，平滑化处理
