Mega-Sapio1700 (SGC-MS1700i)
提高生产量,实现1台设备具备2台设备的生产性能
Sapio系列(SGC-S900/1300/1550/1700)
炉间镀膜再现性的高性能型号
SEC-22C
用于蒸镀金属薄膜的标准型号设备
SEC-06D / SEC-08C
小型金属薄膜蒸镀设备
SEC-S900C
可同时蒸镀Au/Sn两种材料的蒸镀设备
SEC-S1300i
可镀强耐腐蚀性的Y₂O₃膜,形成保护膜。
SDC-1300F
适用于装饰膜等的标准型号设备
SIA-400T
用于表面硬化膜形成/最适合小批量生产机和实验机
SPH-2500T-Ⅱ
可在双面镀两种膜的溅射镀膜设备
SPH-2410-Ⅱ
SPC-2507-Ⅱ
该设备可对基板双面分别镀两种不同种类的膜
SPH-5000 系列
用于量产大型基板的溅射镀膜设备
SPM系列
单晶片式大型溅射镀膜设备
SPP-155TC
小批量·短周期运转的溅射镀膜设备
SPP系列
树脂基板上的金属膜和保护膜可实现全自动镀膜
ALD系列
最适合给复杂形状的基板镀膜