膜厚控制设备Film Thickness Control System

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对镀膜中的基板温度进行实时测量

无线温度监控器由子机和主机构成，由子机测定到的温度数据发送至主机后转送至PC。
可用控制加热架构的调温器对镀膜中的基板温度进行控制。

特长

  1. 1. 可以进行无线温度监控
  2. 2. 小模块（子机）的安装便利
  3. 3. 可以调控基板温度
  4. 4. 子机×3/主机