小批量高循环溅射镀膜机设备
SPP-155TC
小批量·短周期运转的溅射镀膜设备
此设备不仅可在大型产品上进行溅射·重合镀膜，还实现了高循环运行的批量次式设备。可提高产品质量和满足成品率。
用途・应用例
装饰涂层膜
产品案例
汽车内饰部件，汽车转向灯的反射器
特长
- 1. 短循环时间（1个循环/约4分钟）
通过搭载120KW电源实现高速率，3台泵实现高速排气 - 2. 可用于大型基板
基本设置区域为Φ500mm×1,200mm，可以在大型基板上镀膜 - 3. 通过自动化提高效率
真空槽门的开闭以及溅射阴极的开闭都可自动化应对
规格
| 排气泵 | 主排气：TMP×2套+CRYO×1 粗抽：RP×1+MBP×1 |
|---|---|
| 安装尺寸 | W4,000mm×D4,000mm×H2,700mm |
| 重量 | 6,200kg |
| 电源容量 | AC200～220V／约160kVA |
