连续式溅射镀膜设备
SPH-5000系列
用于量产大型基板的溅射镀膜设备
该设备是用于形成透明导电膜和金属膜，保护膜的连续溅射镀膜机
用途・应用例
薄膜太阳能电池板,在大型基板上形成各种金属膜和氧化膜
特长
- 1. 由准备室，加热室，溅镀镀膜室，冷却室和取件室5室组成
- 2. 最大可搬送玻璃基板1,000mm×1,400mm
- 3. 通过无间隙输送实现高效镀膜
- 4. 在冷却室中使用冷却套可以实现基板的冷却
- 5. 搭载脉冲溅射电源可实现稳定的放电
- 6. 溅镀室采用差压隔板压力控制，氧化膜和金属膜可以在同一腔室内形成。
- 7. 产能：90秒/片（Ag：120nm，AZO：60nm膜时）
- 8. 附带交换靶材的专用推车
- 9. 旋转阴极（选购项）
规格
| 排气泵 | RP＋MBP＋TMP |
|---|---|
| 安装尺寸 | W20,000㎜×D8,000㎜×H2,000㎜ |
| 重量 | 27,000kg |
| 电源容量 | AC200V(3φ)／280kVA(800A) |