批量型RIE设备
SPE-8000系列
批量型RIE设备标准型号
具有高处理能力的批量型RIE设备。
可同时加工24片φ4英寸晶圆或者11片φ6英寸晶圆。
大气搬送室兼容晶圆卡盒，并采用双臂机器人传送，可实现高效率搬送。
用途·应用例
各种晶圆电子元件的RIE处理
特长
- 1. 可以进行大批量RIE处理
- 2. 采用双臂机器人搬送晶圆，可以从晶圆卡盒中高效地更换晶圆
- 3. 蚀刻分布：±5％以内。循环时间：20min/批次。
规格
| 排气泵 | DRP＋MBP＋TMP |
|---|---|
| 安装尺寸 | W2,800mm×D2,400mm×H2,025mm |
| 重量 | 2,400kg |
| 电源容量 | AC200V(3φ)／25kVA(73A) |