单片型RIE设备
SPE-6000系列
单片型RIE设备标准型号
该单片式RIE（反应性离子蚀刻）设备搭载了3个RIE室。并配备了卡盒室，通过更换卡盒可以做到连续作业。可对应φ4英寸或者φ6英寸的晶圆
用途·应用例
各种晶圆电子元件的RIE处理
特长
- 1. 卡盒to卡盒、集群式设备。
- 2. 蚀刻分布：±1.5％（φ4英寸），±2.5％（φ6英寸）
规格
| 排气泵 | DRP＋MBP＋TMP |
|---|---|
| 安装尺寸 | W4,000mm×D3,000mm×H2,200mm |
| 重量 | 4,500kg |
| 电源容量 | AC200V(3φ)／49kVA(143A) |