轮盘式连续溅射镀膜设备
SPC-2507-Ⅱ
该设备可对基板双面分别镀两种不同种类的膜
利用基板翻转机构,采用双面镀膜机构的小型轮盘式连续溅射镀膜机
间歇镀膜方式可实现低温镀膜。130℃以下的低温镀膜可以作为有效防止Cr扩散
用途·应用例
在各种电子元件上形成电极用金属膜
特长
- 1. 外形尺寸：W1,280mm×D1,150mm×H2,250mm
- 2. 相比往复型SPH-2500T-Ⅱ，该设备可以通过抑制溅射时的温度上升来进行低温镀膜
- 3. 基板旋转/翻转机构采用使用磁铁的非接触式电力传输方式(MagTran®)
MagTran ®是株式会社FEC的注册商标 - 4. POWER可调功能（旋转方向的膜厚分布调整）（选购项）
- 5. 阴极（第3源）（选购项）
设备构成
| 阴极 | 5inch×7inch 2套 |
|---|---|
| 基板托盘 | Forφ4：托盘W120mm×L200mm |
| 镀膜有效范围 | Forφ4：托盘 W100mm |
| 轴数 | φ4用：12轴 |
| 搭载晶片数 | φ4用：12片 |