电弧放电式离子镀设备
SIA-400T
用于表面硬化膜形成/最适合小批量生产机和实验机
这是配备有电弧放电型阴极的离子镀设备。
可以形成硬化的TiN和TiAlN膜。
用途・应用例
切削工具、汽车/机械零件、各种模具
特长
- 1. 可在切削工具等上形成表面硬化膜（TiN、TiAlN膜）。
- 2. 安装面积（包括操作面板、泵组和电源）节省空间：W3,000mm x D2,500mm。
- 3. 通过触摸屏操作可控制成膜配方。
- 4. 非常适合作为小批量生产机或实验机。
- 5. 还可以蒸发高熔点金属（钨和钼）。
规格
| 排气泵 | TMP+RP |
|---|---|
| 安装尺寸 | W2,800mm×D2,100mm×H2,000mm |
| 重量 | 1,400kg |
| 电源容量 | 主机：AC200V(3Φ)／约38.3kVA(110.5A) |