连续式频率微设备
SFE-X2012
实现世界最高水准的处理速度
本设备用于调整水晶元件的频率调整。采用了处理室和取出室分离的3腔室inline式设计，可实现世界最高水准的处理速度。
并且采用了已有实绩的SFE-B03高精度，高稳定性，高再现性的搬送机构，即便是以往inline设备较难处理的小型工件（1.2×1.0以下）调频作业，也可实现稳定量产。
用途・应用例
[目标产品]
水晶谐振器，晶体振荡器 (3225,2520,2016,1612,1210,1008)
音叉型振荡器 (3215、2012、1610、1210)
特长
- 1. 采用３腔室连续式
缩短了空闲时间，实现了高效运转 - 2. 多源同时处理
搭载两台线性离子源（离子束范围：100mm）
1台最大处理24个，共计最大可处理48个。 - 3. 通过高性能的搬送机构，可实现微小工件（1.2×1.0以下）的稳定生产。
- 4. 可与三生电子株式会社的连续生产系统连接（选购项）
- 5. 小型工件接点调整系统：“SEARCHROID®”（选购项）
*SEARCHROID®为（株）昭和真空的注册商标。
性能
・节拍时间：0.3sec/pc以下 ※ 18 MHz 以上的工件、１列24个以上的情况
・微调精度：±1.5ppm以下
・处理数：最大24列(p4.0)×32列