连续式频率微调设备
SFE-B03-Ⅱ
经 济 产 业 省
全球利基企业100强认定设备
频率微调设备的全球标准型号
该设备是用来调节水晶谐振器的频率的设备。
是一种节约空间且实现了高精度和高生产率的标准型号。
通过采用了高精度，高稳定性，高再现性的搬送机构，可以实现对1.2×1.0以下的小工件进行微调。由于设备为2腔室载入锁定型2室，处理室可保持常时真空状态，促进离子源的稳定运行。
用途・应用例
[目标产品]
水晶谐振器/晶体振荡器 (3225,2520,2016,1612,1210,1008)
音叉型振荡器 (3215,2012,1610,1210)
特长
- 1. 节省空间・高精度・高性价比低价格之特点，处理速度可达 0.4s/pcs 以下。
（*以 SMD3.2×2.5 24MHｚ H1000ppm/s L50ppm/s 为例） - 2. 搭载线性离子源（离子束宽度：100mm），可同时处理 24～32 个工件
- 3. 采用高性能搬送机构，可对1.2×1.0以下的微小工件实现稳定生产。
- 4. 搭载FL模式（负载电容自动演算模式）
- 5. 离子源主体、接点台机构（Contact）具有高效维护性能
- 6. 离子源运行稳定
- 7. 搭载了提篮搬送和附带过载驱动的LD/ULD（三生电子株式会社）（选购项）
- 8. 小型工件接点台调整系统“SEARCHROID®”（选购项）
*SEARCHROID®为（株）昭和真空的注册商标。