AuSn蒸镀设备
SEC-S900C
可同时蒸镀Au/Sn两种材料的蒸镀设备
同时蒸镀两种材料，可控制膜厚以及膜中Au/Sn的比例。
并且可以通过基板冷却机构以及间歇镀膜功能做到低温镀膜。
用途・应用例
LD子模块的Au/Sn焊接膜
LED薄膜子模块的Au/Sn焊接膜
特点
- 1. 低温镀膜（配备基板冷却机构以及间歇镀膜机构）
- 2. 同时蒸镀两种材料
- 3. 离子源（选购项）
规格
| 排气泵 | RP＋MBP＋CP |
|---|---|
| 设备尺寸 | W1,520mm×D1,240mm×H2,790mm |
| 重量 | 约3,000kg |
| 电源容量 | AC200~220V（3φ）/约67kVA（193A） |