小型真空蒸镀设备
SEC-06D / SEC-08C
小型金属薄膜蒸镀设备
可适用阻蒸或是电子束蒸发源蒸镀金属材料。
适用于研究开发和小批量生产。
用途・应用例
在各种电子部品上镀电极膜
金属装饰件
用于底涂层和面漆等涂料的评估
特长
- 1. 真空槽为易维护的前门型。
- 2. 操作控制一体型简约设计。
- 3. 水晶发振式膜厚控制。
- 4. 采用自公转治具，可做到均匀的膜厚
选购项
旋转伞架型夹具，加热系统，电子束蒸发源
规格
| 排气泵 | SEC-06D：DP＋RP SEC-08C：DP＋CRYO |
|---|---|
| 安装尺寸 | W1,240mm×D1,300mm×H2,000mm |
| 重量 | 500kg |
| 电源容量 | AC200V(3φ)／9.8kVA(28A) |