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可以自动识别微型产品

可通过图像识别，对微型产品进行位置检测，和检测出基板上的微小异物，晶圆，定向平面和缺口

用途・应用例

微型产品的测试头位置对准用
检测托盘中的产品位置偏差
检测晶圆中的异物、定向平面/缺口
*是（株）昭和真空的注册商标

特长

  1. 1. 检测成像目标和参考点之间的偏移量，通过控制X和Y轴以校正偏移量。
  2. 2. 通过比较成像目标与样本图像来检测异常。